Ближнепольная сверхвысокочастотная микроскопия

Институт физики микроструктур РАН, ГСП-105, Н.Новгород, 5 с.Ближнепольная (БП) микроскопия – это способ диагностики, разрешающая способность
которого не зависит от рабочей длины волны устройства λ, а определяется размером апертуры
зонда D. Уже к концу 1990-х были созданы БП микроскопы (БПМ) микронного и субмикронного
разрешения. В самое последнее время появились первые образцы БПМ, имеющие D~30 нм. Для
приборов диапазона СВЧ соотношение D/λ составляет 10-5 - 10-6, т.е. устройства обладают «глубоким» субволновым разрешением. Важно, что БП микроскопия это бесконтактная неразрушающая диагностика. Наибольшие перспективы применения БПМ связывают с твердотельной микро- и нано-электроникой, хотя, соответствующие методы интересны также для материаловедения, дефектоскопии, медицины, фундаментальных исследований и др.